为加强研究生学术交流活动,推进学术创新,特开通“研究生学术报告预告区”。我校研究生和教师可以在预告区及时发布和了解有关研究生学术报告的信息,届时参加。也可就某学术报告展开专题讨论与交流。
实验方法
2.1 微区厚度
采用不同转速(850转/min,60s,最佳)匀胶,用千分尺测匀胶前匀胶后厚度差,即匀胶厚度。
2.2 微区的坚膜时间
采用不同的热板和烘箱烘片时间,通过曝光显影过程和结果判断微区的最佳坚膜时间。
2.3、微区的曝光时间
采用不同的曝光时间,通过显影过程和结果判断微区的最佳曝光时间。
2.4、电沉积铜的电流密度和时间
采用不同的电流密度电沉积铜,并计算时间,通过比较电沉积后的铜片判断最佳的电流密度和时间。