为加强研究生学术交流活动,推进学术创新,特开通“研究生学术报告预告区”。我校研究生和教师可以在预告区及时发布和了解有关研究生学术报告的信息,届时参加。也可就某学术报告展开专题讨论与交流。
通过算例给出了表面波在体材料和单层膜结构中传播的规律,给出了薄膜厚度与频散曲线之间的关系。汇报了low-k/ SiO2/Si(110)、low-k/ Cu/Si(110)、Cu/ SiO2/Si(110)等双层膜加基底结构的频散曲线计算结果,总结出双层结构中表面波频散曲线与各个变量参数的关系。
(1)上层薄膜的材质决定了曲线收敛时的速度;(2)上层薄膜的厚度决定了曲线到达收敛速度是的频率,厚度越大,频率越小。这两点规律同单层薄膜加基底结构;(3)下层薄膜的参数对曲线的影响体现在曲线的初段及中段,因此虽然目前实验测量的表面波频率有限,但还是可以适用于测量下层薄膜参数;(4)下层薄膜的厚度越大曲线初段及中段的频散越明显,斜率就越大。下层薄膜的杨氏模量越大,曲线初段及中段的斜率越大。