研究生学术报告预告登记（开题、中期、答辩）

       为加强研究生学术交流活动，推进学术创新，特开通“研究生学术报告预告区”。我校研究生和教师可以在预告区及时发布和了解有关研究生学术报告的信息，届时参加。也可就某学术报告展开专题讨论与交流。

报告人: 李波
学号: 2010207047
学院: 化工学院
报告类型: 第二次学术报告
日期: 2012年05月19日
时间: 06:30
地点: 化工学院20楼二楼会议室
导师: 张卫江
题目: 三氟化硼电子特气纯化技术的探讨
内容提要: 三氟化硼气体可广泛应用于电子工业，并且是半导体离子注入用的重要的离子掺杂源。了解了三氟化硼气体的性质和用途，以及电子工业对气体纯度要求比较高的特点。纯化的三氟化硼气体用于电子工业的纯度为4.5N甚至5N级别，为了满足电子气体纯度的要求，气体的纯化一直受到很打的重视。讨论了气体常用的纯化方法，并在这些方法的基础上对三氟化硼气体的纯化方法进行了详细的介绍，对比冷阱法，低温精馏法，吸附与精馏组合的方法，分析几种方法的优缺点，选择合适的纯化方法，使得纯化的三氟化硼可以用于电子工业。
图片:
登记人: 李波
登记时间: 2012年05月26日 星期六 09:09
显示评论