为加强研究生学术交流活动,推进学术创新,特开通“研究生学术报告预告区”。我校研究生和教师可以在预告区及时发布和了解有关研究生学术报告的信息,届时参加。也可就某学术报告展开专题讨论与交流。
随着半导体工艺的不断发展,使得微型结构的制作有了多种选择。回音壁模式光学谐振腔的制作对制作工艺的要求较高,但是依然有多种工艺可被选择。本次学术报告主要内容是总结探讨可能被应用于制备回音壁光学微腔结构的工艺技术,例如光刻、纳米压印、模具、e-beam等。